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受託成膜サービスの特長
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| スパッタ装置 |
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| めっき装置 |
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| ①ナノメートルの薄膜から10μm以上の超厚膜のコーティングが可能 |
| ②電解めっき、無電解めっきのウェットプロセスからスパッタリング等のドライプロセスまで幅広い成膜方法が可能 |
| ③10mm以下の小基板からメーター級まで対応可能、さらに立体形状など特殊形状にも対応可能 |
| ③塗布材料、塗布基板に最適な表面改質が可能 |
| ④フォトリソ加工を組み合わせたパターニング成膜が可能 |
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概要
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| 弊社受託成膜サービスは下記のような流れになっております。 |
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成膜例
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1.曲面へのコーティング ①レンズ金型へレジストを成膜 ②ロール金型へレジストを成膜 |
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2.ナノ凹凸(モスアイ形状)へのコーティング |
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3.超厚膜SiO2成膜 |
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仕様
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| 成膜方法 |
成膜材料 |
基板サイズ |
| 熱酸化処理 |
NiO |
最大200mmX150mm |
| スパッタリング |
Ni,Ni−Co,Alなど |
最大Φ500mm |
| めっき(電解) |
Ag,Cu,Ni,Ni−Co,Ni−W(開発中)など |
最大Φ800mm |
| めっき(無電解) |
Cu,Ni,Ptなど |
最大Φ200mm |
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| ※上記仕様以外の成膜についてもご相談ください。 |
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価格
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